Beschreibung
Hersteller: Airco
AIRCO TEMESCAL HRS 2550 SPUTTERING SYSTEM
3 TARGETS
AUTOMATISCHE/MANUELLE VENTILE
DIREKT ANGETRIEBENE MECHANISCHE PUMPE
DIFFUSIONSPUMPE
KANN MIT EINER DREHVORRICHTUNG ZUR AUFNAHME VON (4) 8"-WAFERN AUFGERÜSTET WERDEN
Das Airco Temescal HRS 2550 ist ein Sputtersystem. Es verfügt über 3 Targets, automatische/manuelle Ventile, eine direkt angetriebene mechanische Pumpe und eine Diffusionspumpe. Außerdem hat es eine r/f-Stromversorgung. Kann auf einen umgebauten CTI-10 Kryopumpenkopf mit Kompressor aufgerüstet werden.
Technische Daten
Abmessungen: 16 Zoll hoch x 25,5 Zoll
Durchmesser (406 mm x 647,7 mm)
Befestigung: Karussell mit vertikal montierten Substrathaltern, optional mit Flip-Flop-Funktion
Kapazität: (mindestens) 64 2-Zoll (51 mm) Wafer
Abschirmung: Minimum-3-bounce
Substratwärme: maximal 3 kW
Anzahl der Kathoden: maximal drei Argoneinlass Faltenbalggedichtetes Handventil mit Dosiermöglichkeit
Vakuumkabine (einschließlich des Elektronikgehäuses): 82,5 Zoll hoch (mit Schrank
Konsole oben) x 64 Zoll breit x 40 Zoll tief (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Stromversorgung (einschließlich Steuerkonsolen):
36 Zoll hoch x 25,5 Zoll breit x 25,5 Zoll tief (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Typische statische Abscheidungsraten: 15,000
A/Minute Aluminium, 20.000 A/Minute Kupfer
Verteilung: � 5% mit Quellenmaskierung
Targetgröße: 8,25 Zoll x 3,56 Zoll (210 mm x 90 mm)
Betriebsspannung: -400 bis -800V dc Kathodenpotential (Spitzenabscheidungsraten bei
-400 bis -500V dc)
Maximale Betriebsleistung: 5 KW. 0,2 bis 7A
Betriebsdruck: 1 x 10-2 bis 1 x 10-3 Torr
Kühlwasser: (0,5gpm bei 20�C) pro Quelle
Leistung: 5 kW, Strom einstellbar von 0,2A
bis 7A; Spannung von 50V dc bis 800V dc;
druckabhängig
Einschaltdauer: 100%
Messung: Ausgangsstrom, 0 bis 1A, und 0 bis
10A, Gleichstromskala; Spannung Kathode-Masse,
0 bis 1,5 kV dc; Anoden-Erde-Spannung,
0 bis 150V dc
Verriegelungen: Stromversorgung, Kabinentüren, Wasser, Kammerdeckel und Kammerdruck
Erforderliche Leistung: 208/230 V Wechselstrom, 25 A, 50/60 Hz, 3 Phasen
Endvakuum: 10-8 Torr Bereich
Diffusionspumpe: 5300 Liter/Sekunde, 10 Zoll hoch x 16 Zoll Innendurchmesser
Mechanische Pumpe: 35 cfm (1000 Liter/Sekunde, zweistufig)
Kühlfalle: 4,5 Liter Fassungsvermögen; 2600 Quadratzoll (1,67 m2) Oberfläche
Hochvakuumventil: 406 mm (16 Zoll) Innendurchmesser, balggedichtet
Hochvakuum-Bypassventil: 75 mm (3 Zoll) Innendurchmesser, variable Leitfähigkeit
Ansaug- und Schruppventil: 2 Zoll (51 mm) Innendurchmesser
Ventilbetätigung: elektropneumatisch (alle Vakuumventile)
Ventilsequenzierung: manuell und automatisch
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