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Airco Temescal HRS 2550 P240311905
Airco Temescal HRS 2550 P240311905

Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering-System Verifizierter Verkäufer

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Hersteller Airco
Typ Temescal HRS 2550
Baujahr
Standort USA US
Kategorie Leiterplatte (PCB) - Sondere
Produkt ID P240311905
Sprache
bg Система за разпрашване Airco Temescal Hrs 2550
cs Rozprašovací systém Airco Temescal Hrs 2550
da Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering-system
de Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering-System
el Airco Temescal Hrs 2550 Σύστημα σπατουλαρίσματος
en Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering system
es Sistema de pulverización catódica Airco Temescal Hrs 2550
fr Système de pulvérisation cathodique Airco Temescal Hrs 2550
hr Klima uređaj Temescal Hrs 2550 Sustav prskanja
hu Airco Temescal Hrs 2550 porlasztó rendszer
it Sistema di sputtering Airco Temescal Hrs 2550
lt "Airco Temescal Hrs 2550" dulkinimo sistema
nl Airco Temescal Hrs 2550 Sputtersysteem
pl System rozpylania Airco Temescal Hrs 2550
pt Sistema de pulverização catódica Airco Temescal Hrs 2550
ro Sistem Sputtering Airco Temescal Hrs 2550
ru Система напыления Airco Temescal Hrs 2550
sr Klima uređaj Temescal Hrs 2550 Sistem za prskanje
sv Airco Temescal Hrs 2550 Sputtering-system
tr Airco Temescal Hrs 2550 Püskürtme sistemi

Detaillierte Informationen

Funktionsweise andere
-------------------
Betriebsstunden
Einschaltstunden
Zustand gut
CE-Norm ---------
Status

Beschreibung

Hersteller: Airco
AIRCO TEMESCAL HRS 2550 SPUTTERING SYSTEM
3 TARGETS
AUTOMATISCHE/MANUELLE VENTILE
DIREKT ANGETRIEBENE MECHANISCHE PUMPE
DIFFUSIONSPUMPE
KANN MIT EINER DREHVORRICHTUNG ZUR AUFNAHME VON (4) 8"-WAFERN AUFGERÜSTET WERDEN

Das Airco Temescal HRS 2550 ist ein Sputtersystem. Es verfügt über 3 Targets, automatische/manuelle Ventile, eine direkt angetriebene mechanische Pumpe und eine Diffusionspumpe. Außerdem hat es eine r/f-Stromversorgung. Kann auf einen umgebauten CTI-10 Kryopumpenkopf mit Kompressor aufgerüstet werden.
Technische Daten
Abmessungen: 16 Zoll hoch x 25,5 Zoll
Durchmesser (406 mm x 647,7 mm)
Befestigung: Karussell mit vertikal montierten Substrathaltern, optional mit Flip-Flop-Funktion
Kapazität: (mindestens) 64 2-Zoll (51 mm) Wafer
Abschirmung: Minimum-3-bounce
Substratwärme: maximal 3 kW
Anzahl der Kathoden: maximal drei Argoneinlass Faltenbalggedichtetes Handventil mit Dosiermöglichkeit

Vakuumkabine (einschließlich des Elektronikgehäuses): 82,5 Zoll hoch (mit Schrank
Konsole oben) x 64 Zoll breit x 40 Zoll tief (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Stromversorgung (einschließlich Steuerkonsolen):
36 Zoll hoch x 25,5 Zoll breit x 25,5 Zoll tief (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Typische statische Abscheidungsraten: 15,000
A/Minute Aluminium, 20.000 A/Minute Kupfer
Verteilung: � 5% mit Quellenmaskierung
Targetgröße: 8,25 Zoll x 3,56 Zoll (210 mm x 90 mm)
Betriebsspannung: -400 bis -800V dc Kathodenpotential (Spitzenabscheidungsraten bei
-400 bis -500V dc)
Maximale Betriebsleistung: 5 KW. 0,2 bis 7A
Betriebsdruck: 1 x 10-2 bis 1 x 10-3 Torr
Kühlwasser: (0,5gpm bei 20�C) pro Quelle

Leistung: 5 kW, Strom einstellbar von 0,2A
bis 7A; Spannung von 50V dc bis 800V dc;
druckabhängig
Einschaltdauer: 100%
Messung: Ausgangsstrom, 0 bis 1A, und 0 bis
10A, Gleichstromskala; Spannung Kathode-Masse,
0 bis 1,5 kV dc; Anoden-Erde-Spannung,
0 bis 150V dc
Verriegelungen: Stromversorgung, Kabinentüren, Wasser, Kammerdeckel und Kammerdruck
Erforderliche Leistung: 208/230 V Wechselstrom, 25 A, 50/60 Hz, 3 Phasen

Endvakuum: 10-8 Torr Bereich
Diffusionspumpe: 5300 Liter/Sekunde, 10 Zoll hoch x 16 Zoll Innendurchmesser
Mechanische Pumpe: 35 cfm (1000 Liter/Sekunde, zweistufig)
Kühlfalle: 4,5 Liter Fassungsvermögen; 2600 Quadratzoll (1,67 m2) Oberfläche
Hochvakuumventil: 406 mm (16 Zoll) Innendurchmesser, balggedichtet
Hochvakuum-Bypassventil: 75 mm (3 Zoll) Innendurchmesser, variable Leitfähigkeit
Ansaug- und Schruppventil: 2 Zoll (51 mm) Innendurchmesser
Ventilbetätigung: elektropneumatisch (alle Vakuumventile)
Ventilsequenzierung: manuell und automatisch

Bitte beachten Sie, dass diese Beschreibung automatich übersetzt wurde. Für weitere Informationen stehen wir Ihnen gerne zur Verfügung. Die Angaben in dieser Anzeige sind unverbindlich. Wir empfehlen, die Details vor einem Kauf mit dem Verkäufer zu überprüfen.


Art von Kunde Händler
1. Registrierung 2014
Online Angeboten 44
Letzte log in 11. September 2024

Beschreibung

Hersteller: Airco
AIRCO TEMESCAL HRS 2550 SPUTTERING SYSTEM
3 TARGETS
AUTOMATISCHE/MANUELLE VENTILE
DIREKT ANGETRIEBENE MECHANISCHE PUMPE
DIFFUSIONSPUMPE
KANN MIT EINER DREHVORRICHTUNG ZUR AUFNAHME VON (4) 8"-WAFERN AUFGERÜSTET WERDEN

Das Airco Temescal HRS 2550 ist ein Sputtersystem. Es verfügt über 3 Targets, automatische/manuelle Ventile, eine direkt angetriebene mechanische Pumpe und eine Diffusionspumpe. Außerdem hat es eine r/f-Stromversorgung. Kann auf einen umgebauten CTI-10 Kryopumpenkopf mit Kompressor aufgerüstet werden.
Technische Daten
Abmessungen: 16 Zoll hoch x 25,5 Zoll
Durchmesser (406 mm x 647,7 mm)
Befestigung: Karussell mit vertikal montierten Substrathaltern, optional mit Flip-Flop-Funktion
Kapazität: (mindestens) 64 2-Zoll (51 mm) Wafer
Abschirmung: Minimum-3-bounce
Substratwärme: maximal 3 kW
Anzahl der Kathoden: maximal drei Argoneinlass Faltenbalggedichtetes Handventil mit Dosiermöglichkeit

Vakuumkabine (einschließlich des Elektronikgehäuses): 82,5 Zoll hoch (mit Schrank
Konsole oben) x 64 Zoll breit x 40 Zoll tief (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Stromversorgung (einschließlich Steuerkonsolen):
36 Zoll hoch x 25,5 Zoll breit x 25,5 Zoll tief (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Typische statische Abscheidungsraten: 15,000
A/Minute Aluminium, 20.000 A/Minute Kupfer
Verteilung: � 5% mit Quellenmaskierung
Targetgröße: 8,25 Zoll x 3,56 Zoll (210 mm x 90 mm)
Betriebsspannung: -400 bis -800V dc Kathodenpotential (Spitzenabscheidungsraten bei
-400 bis -500V dc)
Maximale Betriebsleistung: 5 KW. 0,2 bis 7A
Betriebsdruck: 1 x 10-2 bis 1 x 10-3 Torr
Kühlwasser: (0,5gpm bei 20�C) pro Quelle

Leistung: 5 kW, Strom einstellbar von 0,2A
bis 7A; Spannung von 50V dc bis 800V dc;
druckabhängig
Einschaltdauer: 100%
Messung: Ausgangsstrom, 0 bis 1A, und 0 bis
10A, Gleichstromskala; Spannung Kathode-Masse,
0 bis 1,5 kV dc; Anoden-Erde-Spannung,
0 bis 150V dc
Verriegelungen: Stromversorgung, Kabinentüren, Wasser, Kammerdeckel und Kammerdruck
Erforderliche Leistung: 208/230 V Wechselstrom, 25 A, 50/60 Hz, 3 Phasen

Endvakuum: 10-8 Torr Bereich
Diffusionspumpe: 5300 Liter/Sekunde, 10 Zoll hoch x 16 Zoll Innendurchmesser
Mechanische Pumpe: 35 cfm (1000 Liter/Sekunde, zweistufig)
Kühlfalle: 4,5 Liter Fassungsvermögen; 2600 Quadratzoll (1,67 m2) Oberfläche
Hochvakuumventil: 406 mm (16 Zoll) Innendurchmesser, balggedichtet
Hochvakuum-Bypassventil: 75 mm (3 Zoll) Innendurchmesser, variable Leitfähigkeit
Ansaug- und Schruppventil: 2 Zoll (51 mm) Innendurchmesser
Ventilbetätigung: elektropneumatisch (alle Vakuumventile)
Ventilsequenzierung: manuell und automatisch

Bitte beachten Sie, dass diese Beschreibung automatich übersetzt wurde. Für weitere Informationen stehen wir Ihnen gerne zur Verfügung. Die Angaben in dieser Anzeige sind unverbindlich. Wir empfehlen, die Details vor einem Kauf mit dem Verkäufer zu überprüfen.

Detaillierte Informationen

Funktionsweise andere
-------------------
Betriebsstunden
Einschaltstunden
Zustand gut
CE-Norm ---------
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Bezüglich der/die Besitzer /in

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