Beschreibung
- Optische Multisensor-Inspektion von 350-mm-Wafern
- Freiraum über/unter +30/-70mm
- Bewegliche Z-Achse über 30 mm mit Autofokusfunktion
- 1 Hauptkamera mit 18,6u Objektiv
- Telezentrisches Objektiv (High Grade)
- Meniskus-Profiler mit 4-Winkel-Beleuchtungssystem
- Min 01005 Bauteilprüfung (10um Kamera)
- Signalmul8plexer für kontinuierliche Live-Überwachung von 9 Kameras
- 8 Seitenkameras mit 10u-Auflösung in Tilt&Shi>-Technologie in einem Winkel von 45o
- 3D-Funktion zur detaillierteren Analyse von angehobenen Bauteilen mit Messung von
Höhe
Apple Mac Steuerrechner
- Computer + dell 24" Monitor + Maus + Tastatur
- Vollständig kompatibel mit Windows- und Linux-basierten Netzwerken
CSC22XE-LIGHT CSCL (Zentrales Licht)
- Software zur Datenverwaltung
- Windows TM-basiertes PostgresSQL-Unternehmens-SQL
- System zur Datenerfassung und -speicherung
- Unterstützt bis zu 5 AOI-Systeme gleichzeitig auf 1 Lizenz
- Beinhaltet CS Watch Echtzeit-Monitor, Windows-basiert, erfordert zusätzlichen PC
- Erfordert zusätzliche Software für Datenanalyse und Reparaturstation
- Erfordert einen zusätzlichen PC mit Windows
4 CSR22XE-LIGHT CSRL (Reparaturleuchte)
- Software für die Reparaturstation
- Fehlerklassifizierung - erfordert CSC/CSCL
- Erfordert einen zusätzlichen PC mit Windows
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