Waffelgröße 300 mm
Prozess-PE-ALD-System
Softwareversion Eagle I ASMJ-Software (Windows Embedded XP / OS)
Sehen Sie sich die Konfigurationsdatei unten zum Herunterladen zusammen mit anderen Dokumenten an.
Vollständiger Schaltplansatz auf Anfrage erhältlich.
Prozess PE-ALD-Oxid, HT-SiO/HT-SiN
Hardwarekonfiguration (Fabrik):
Hauptsystem ASM PE-ALD System Mainframe 1
Handlersystem FI: Kawasaki / Vac: JEL 1
Werksschnittstelle FOUP 2
Optionensystem
Andere Prozesskammer (RC3 / RC4) 2
Hardwarekonfiguration (Subfab/Hilfseinheiten):
Power-Rack 1
Werkzeugstatus: Deinstalliert und verpackt und im Lager. (März 2023)

Der ASM Eagle ist wie neu. Es wurde nie in der Produktion verwendet und diente nur zum Testen von Wafern. In einer Kammer gab es ein Problem mit der Drosselklappe und dem RF-Gen. Das RF-Gen wurde ersetzt, die Drosselklappe wurde jedoch nicht ausgetauscht, sodass nur eine Kammer zum Testen der Wafer verwendet wurde. Die Flüssiggasplatte wurde nicht verwendet. Im Lieferumfang sind 2 Ersatz-MFCs enthalten.

Diese fortschrittliche Maschine nutzt die plasmaunterstützte Atomlagenabscheidungstechnologie (PEALD), um ultradünne, gleichmäßige Beschichtungen auf einer Vielzahl von Substratmaterialien zu erzeugen. Es ist in der Lage, Beschichtungen mit außergewöhnlicher Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit zu erzeugen, was es ideal für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie macht.
Der ASM Eagle XP5 ist ein vielseitiges Werkzeug, mit dem eine Vielzahl von Materialien abgeschieden werden können, darunter Metalle, Oxide und andere Verbindungen. Darüber hinaus kann es bei verschiedenen Prozessdrücken und -temperaturen betrieben werden und eignet sich daher für den Einsatz in einer Vielzahl von Fertigungsumgebungen.
Zusätzlich zu seinen beeindruckenden Beschichtungsmöglichkeiten ist der ASM Eagle XP5 auch auf Langlebigkeit und einfache Wartung ausgelegt. Es verfügt über ein robustes Design und wird durch den Ruf von ASM für die Herstellung hochwertiger und zuverlässiger Geräte gestützt.

Bitte beachten Sie, dass diese Beschreibung automatich übersetzt wurde. Für weitere Informationen stehen wir Ihnen gerne zur Verfügung. Die Angaben in dieser Anzeige sind unverbindlich. Exapro empfiehlt, die Details vor einem Kauf mit dem Verkäufer zu überprüfen.

-------------------
Betriebsstunden
Einschaltstunden
Zustand gut
CE-Norm ---------
Status
Art von Kunde Händler
1. Registrierung 2010
Online Angeboten 39
Letzte log in 13. Februar 2024

Beschreibung

Waffelgröße 300 mm
Prozess-PE-ALD-System
Softwareversion Eagle I ASMJ-Software (Windows Embedded XP / OS)
Sehen Sie sich die Konfigurationsdatei unten zum Herunterladen zusammen mit anderen Dokumenten an.
Vollständiger Schaltplansatz auf Anfrage erhältlich.
Prozess PE-ALD-Oxid, HT-SiO/HT-SiN
Hardwarekonfiguration (Fabrik):
Hauptsystem ASM PE-ALD System Mainframe 1
Handlersystem FI: Kawasaki / Vac: JEL 1
Werksschnittstelle FOUP 2
Optionensystem
Andere Prozesskammer (RC3 / RC4) 2
Hardwarekonfiguration (Subfab/Hilfseinheiten):
Power-Rack 1
Werkzeugstatus: Deinstalliert und verpackt und im Lager. (März 2023)

Der ASM Eagle ist wie neu. Es wurde nie in der Produktion verwendet und diente nur zum Testen von Wafern. In einer Kammer gab es ein Problem mit der Drosselklappe und dem RF-Gen. Das RF-Gen wurde ersetzt, die Drosselklappe wurde jedoch nicht ausgetauscht, sodass nur eine Kammer zum Testen der Wafer verwendet wurde. Die Flüssiggasplatte wurde nicht verwendet. Im Lieferumfang sind 2 Ersatz-MFCs enthalten.

Diese fortschrittliche Maschine nutzt die plasmaunterstützte Atomlagenabscheidungstechnologie (PEALD), um ultradünne, gleichmäßige Beschichtungen auf einer Vielzahl von Substratmaterialien zu erzeugen. Es ist in der Lage, Beschichtungen mit außergewöhnlicher Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit zu erzeugen, was es ideal für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie macht.
Der ASM Eagle XP5 ist ein vielseitiges Werkzeug, mit dem eine Vielzahl von Materialien abgeschieden werden können, darunter Metalle, Oxide und andere Verbindungen. Darüber hinaus kann es bei verschiedenen Prozessdrücken und -temperaturen betrieben werden und eignet sich daher für den Einsatz in einer Vielzahl von Fertigungsumgebungen.
Zusätzlich zu seinen beeindruckenden Beschichtungsmöglichkeiten ist der ASM Eagle XP5 auch auf Langlebigkeit und einfache Wartung ausgelegt. Es verfügt über ein robustes Design und wird durch den Ruf von ASM für die Herstellung hochwertiger und zuverlässiger Geräte gestützt.

Bitte beachten Sie, dass diese Beschreibung automatich übersetzt wurde. Für weitere Informationen stehen wir Ihnen gerne zur Verfügung. Die Angaben in dieser Anzeige sind unverbindlich. Exapro empfiehlt, die Details vor einem Kauf mit dem Verkäufer zu überprüfen.


Detaillierte Informationen

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Betriebsstunden
Einschaltstunden
Zustand gut
CE-Norm ---------
Status

Bezüglich der/die Besitzer /in

Art von Kunde Händler
1. Registrierung 2010
Online Angeboten 39
Letzte log in 13. Februar 2024

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