Beschreibung
Der RA 120M ermöglicht das Ritzen von Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 4 Zoll (102 mm) und Substraten mit einer Größe von bis zu 4 Zoll (102 mm) im Quadrat.
Zwei unabhängige Ritzachsen sind für maximale Vielseitigkeit separat programmierbar.
Die Parameter können entweder in Mikron oder in Mils eingegeben werden. (Der Zoll- oder metrische Modus wird vor dem Einschalten durch Positionierung eines internen Modus-Jumpers ausgewählt).
Die Dateneingabe erfolgt in Schritten von 1 Mikron im metrischen Modus und 0,1 mil in Zoll.
Der RA 120M bietet drei verschiedene Ritzmodi und zwei separate Ritzachsen, so dass Sie die für Ihre Bedürfnisse am besten geeignete Konfiguration wählen können. Die Wahl hängt von der zu ritzenden Verbindung und dem speziellen Bauteiltyp ab, der auf dem Wafer oder Substrat hergestellt wird.
Wenn das Programm für kontinuierliche Ritzungen gewählt wird, erzeugt der Ritzer eine ununterbrochene Ritzung über die gesamte Länge des Materials mit der beim Setup programmierten Tiefe. Im Modus "Edge Scribe" ritzt der RA 120M mit geringem Abstand zum Rand des Materials.
Die Ritzlänge kann vom Bediener in 1-Mikrometer-Schritten zwischen 20 und 10.000 Mikrometern gewählt werden, wobei sich der Beginn des Ritzens immer auf die Materialkante bezieht. Nach Beendigung eines Ritzvorgangs wird der Tisch automatisch indexiert und der nächste Ritzvorgang beginnt sofort. Daher ist dieser Ritzmodus sehr schnell, da sich der Tisch nur eine kleine Strecke in Ritzrichtung bewegt.
Das Überspringen von Ritzungen ist sehr nützlich in Situationen, in denen eine Überschneidung von Ritzungen den ordnungsgemäßen Betrieb des Geräts stören würde. Im Skip-Scribe-Modus wird das Werkzeug in der Ritzposition platziert, während sich der Tisch um eine bestimmte Ritzlänge bewegt; dann wird das Werkzeug angehoben und der Tisch bewegt sich um eine bestimmte Strecke, bevor der nächste Ritzvorgang beginnt. Die Parameter sind vom Benutzer wählbar, und es können Ritzabstände zwischen 20 und 10.000 Mikrometer programmiert werden.
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