Beschreibung
Karl Suss/CASCADE MICROTECH PA-200HS Halbautomatisches Sondensystem mit komplettem Zubehör (optionales Upgrade für Temperaturmessung verfügbar)
Cascade Microtech/Prober/Karl Suss K&S PA200HS umfasst 4 Einheiten XYZ Prober Cascade Micro Positioner, Probearm und Proberhalter sowie Isolationstisch
BESCHREIBUNG
Das SÜSS PA200 Semiautomatic Probe System ist ein sehr stabiles, modulares und flexibles Sondensystem für Wafer und Substrate bis 200 mm (8). Das Standard-ProberBench®-Betriebssystem bietet Benutzerfreundlichkeit und programmierte Automatisierung für die anspruchsvollsten Analyseanwendungen. Der modulare Aufbau ist effektiv, vielseitig und verfügt über einen definierten Upgrade-Pfad.
FUNKTIONEN UND VORTEILE
Anwendungsflexibilität für Fehleranalyse, Design und Verifizierung, parametrische und funktionale Tests
Präzision und Stabilität für Submikron-Prüfungen
Platz für verpackte Teile und einzelne Chips sowie Wafer und Substrate
Konfigurationen für die Messung von Gleichstrom im attoAmpere-Bereich bis 220 GHz Hochfrequenz
Geräuscharme und frostfreie Messungen von –65 °C bis 400 °C mit dem SÜSS ProbeShield®
Schnittstellen zu führenden Analyseinstrumenten, Optiken, Software und Testern
ProberBench-Betriebssystem, voll funktionsfähig mit oder ohne PC
Umfangreiches Zubehör
Zubehör:
1.Joystick,
2. Steuermodul
3. Transformator
4, Mikroskop
5. Lichtquelle
6. XYZ Prober Cascade Micro Positioner – 4 Einheiten,
7. Sondenarm und Sondenhalter – 4 Einheiten und
8. Isolationstabelle
Spezifikation der XYZ-Übersetzungsstufe:
- Mechanisch kompatibel mit der Karl Suss Micro Cascade Prober Station
- Reinraumtauglich der Klasse 100 (ISO 5).
- Feines Mikrometerwerk
- Feststellschraube an den Stufen
Sondenarm
CascadeMicro-101268
Diese Sondenhalterung ermöglicht eine Neigung von 5 Grad und die Z-Achse kann um 2 Grad nach links und rechts gedreht werden. Oben und unten befinden sich zwei Rändelschrauben, um gegen einen federbelasteten Arm zu drücken. Die Länge und die Höhe des Schwenkarms sind veränderbar.
** Optionales Upgrade verfügbar
1. Temptronics TPO3010B Temperaturregler 0 °C bis +130 °C
2. Temptronics 6-Zoll-Thermofutter
3. Temptronics Titan Series TPO3500 (erweiterte Temperatur) -65 °C bis +300 °C
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