Beschreibung
Aspen 2 - Doppeltes ICP
Hersteller : Mattson
Anwendung : Ascher / Stripper
Modell : Aspen 2 ICP
Jahrgang : 2001
Wafergröße : 6" oder 8" (konfiguriert nach Kundenwunsch)
Details Konfiguration :
1. Kassettenplattform : SMIF 8"
2. Abkühlungskammer : Aufklappbar, neuer Typ
3. Schlitztür : Neuer Typ
4. Roboter-Baugruppe: Standard, neuer Typ
5. Kassettentür : 18"
6. RF-Generator: Adtek AX-1000 II
7. Heiz-/Kühlblock: Heizer , Neuer Typ mit Cicular Groove Muster
8. RF-Anpassungsbox: Trazar AMU 10D X 4
9. Gas: 3 Gase mit UNIT MFC
10. Gaskasten : Neuer Typ
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