Beschreibung
Aspen II Dual ICP - AGV-Typ Konfiguration :
1. Kassettenplattform : Kassettenrotation oder Standard-Kassettennest aus einem Stück
2. Abkühlkammer : Installiert, neuer Typ
3. Spalttür : Neuer Typ
4. Roboter-Baugruppe: Standard, neuer Typ
5. Kassettentür : AGV 26"
6. RF-Generator: AE /RFPP oder Adtec X 4
7. Heiz-/Kühlblock: Heizelement, neuer Typ mit kreisförmigem Rillenmuster oder Wasserkühlplatte mit Kühler
8. RF-Anpassungsbox: Trazar AMU 10D X 4
9. Gas: 3 Gase oder 4 Gase
10. Gaskasten : Neuer Typ
11. Rückseite EMO
12. Abkühlungskammer mit Hindge
13. Fernbedienungsschnittstelle.
14. Wafer auf Paddelsensoren installiert.
15. CE-konform
Details Wafergröße: 4", 6" oder 8" konfigurierbar.
Bitte beachten Sie, dass diese Beschreibung automatich übersetzt wurde. Für weitere Informationen stehen wir Ihnen gerne zur Verfügung. Die Angaben in dieser Anzeige sind unverbindlich. Wir empfehlen, die Details vor einem Kauf mit dem Verkäufer zu überprüfen.