Beschreibung
SSEC 3302 Resistentfernungs- und Waferreinigungsmaschine
Hersteller: Ssec
Modell: M3302
Technischer Zustand: Gut
Datum der Herstellung: August 30, 2005
Leistungsdaten:
- Spannung: 208 VAC
- Phase: 3PH
- Frequenz: 60Hz
- Stromstärke: 30 AMP
Hauptmerkmale:
1. Reinigung durch Eintauchen: Der Wafer wird zur effektiven Reinigung in eine Mischung von Lösungsmitteln getaucht.
2. Fan Spray Verarbeitung: Die Verarbeitung umfasst das Aufsprühen von Lösungsmitteln, gefolgt von einer Stickstofftrocknungsphase.
3. Dry-in/Dry-out-System: Konzipiert für die effiziente Handhabung von trockenen Wafern in und aus dem System.
4. Proprietäre Einweich- und Sprühtechnologie: Minimiert die Sprühzeit und den Einsatz von Chemikalien, was zu niedrigeren Betriebskosten im Vergleich zu herkömmlichen Methoden führt.
5. Erhöhte Effizienz: Erzielt eine 100%ige Entfernung von Fotolack und Seitenwand-Fluorpolymer 5 Mal schneller als reine Sprühverfahren.
6. Software für gleichmäßiges Einweichen: Sorgt für eine präzise Prozesssteuerung, indem sie sicherstellt, dass jeder Wafer ausreichend in das erhitzte, rezirkulierende Lösungsmittel eintaucht.
7. Hochdruck-Sprühen: Entfernt schnell die verbleibenden Rückstände nach dem Einweichen und gewährleistet eine vollständige Reinigung.
8. Erhebliche Zeit- und Chemieeinsparungen: Das Einweich- und Sprühverfahren benötigt 88 % weniger Zeit und 77,5 % weniger Chemie als herkömmliche reine Sprühverfahren.
Diese Maschine ist ideal für die TSV-Reinigung nach der DRIE-Ätzung, die für die Zuverlässigkeit von 2,5D- und 3D-IC-Bauteilen unerlässlich ist.
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