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Baujahr:
200mm LPCVD-Ofen Rohr 1: TEOS/Blech Rohr 2: Nitrid/Poly, Gasanschlüsse: Luft niedrig N2, N2, FG1, Ar, O2, SiH2Cl2(DCS), SiH4, NH3 2 Kashiyama Vakuumpumpen mit Gebläse Schumacher M-Dot Dotierstoffquellensteuerung Abmessungen des Ofens: 66x36x78 Gasmodul Abmaße: 18x36x78 Strombedarf: 480 V, max. 250 ABaujahr: 2016
Funktionsweise | andere |
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Baujahr: 1995
Modell: MPT RTP-3000 Kategorie: RTP - Schnelle thermische Verarbeitung Original Equipment Hersteller: MPT Zustand: Vollständig überholt und vom Verkäufer getestet Standort: U.S.A. Installation und Schulung: Gegen Aufpreis erhältlich.Baujahr: 1995
Alle Spezifikationen und Informationen können ohne Vorankündigung geändert werden und können nicht für den Kauf und die Einrichtungsplanung verwendet werden. Bitte überprüfen Sie die aktualisierten Informationen auf unserer Website vor dem Kauf. Wir danken Ihnen für Ihre Zeit. Modell: AST-Fass Asher Kategorie: Plasma-Ascher, Halbleiter-Prozessanlagen Original Equipment Hersteller: AST, Erweiterte Oberflächentechnologien INC Zustand: Vollständig überholt und vom Verkäufer getestet Gültigkeitsdauer: Dieser …Baujahr: 1995
Alle Spezifikationen und Informationen können ohne Vorankündigung geändert werden und können nicht für den Kauf und die Einrichtungsplanung verwendet werden. Bitte überprüfen Sie die aktualisierten Informationen auf unserer Website vor dem Kauf. Wir danken Ihnen für Ihre Zeit. Modell: Gasonics L3510 Kategorie: Plasma-Ascher, Halbleiter-Prozessanlagen Original Equipment Hersteller: Gasonics Zustand: Vollständig überholt und vom Verkäufer getestet Gültigkeitsdauer: Dieser Artikel ist nur …Baujahr: 1995
Alle Spezifikationen und Informationen können ohne Vorankündigung geändert werden und können nicht für den Kauf und die Einrichtungsplanung verwendet werden. Bitte überprüfen Sie die aktualisierten Informationen auf unserer Website vor dem Kauf. Wir danken Ihnen für Ihre Zeit. Modell: Gasonics Aura 2000LL Kategorie: Plasma-Ascher, Halbleiter-Prozessanlagen Original Equipment Hersteller: Gasonics Zustand: Vollständig überholt und vom Verkäufer getestet Gültigkeitsdauer: Dieser Artikel ist …Baujahr: 1995
Alle Spezifikationen und Informationen können ohne Vorankündigung geändert werden und können nicht für den Kauf und die Einrichtungsplanung verwendet werden. Bitte überprüfen Sie die aktualisierten Informationen auf unserer Website vor dem Kauf. Wir danken Ihnen für Ihre Zeit. Modell: Wärmepuls 8108 Kategorie: RTP - Schnelle thermische Verarbeitung Original Equipment Hersteller: AG Associates Zustand: Vollständig überholt und vom Verkäufer getestet Gültigkeitsdauer: …Baujahr: 1995
Alle Spezifikationen und Informationen können ohne Vorankündigung geändert werden und können nicht für den Kauf und die Einrichtungsplanung verwendet werden. Bitte überprüfen Sie die aktualisierten Informationen auf unserer Website vor dem Kauf. Wir danken Ihnen für Ihre Zeit. Modell: Wärmepuls 4100 Kategorie: RTP - Schnelle thermische Verarbeitung Hersteller der Originalausrüstung: AG Associates Zustand: Vollständig überholt und vom Verkäufer getestet Gültigkeitsdauer: …Baujahr:
Advanced Energy RFX600 13,56mhz RF-Stromversorgung 1 geerdeter und 1 bestromter Regalboden Leybold-VakuumpumpeBaujahr:
SPS-gesteuert und bietet eine Echtzeit-Anzeige der Betriebsparameter des Systems in Klartext sowie Abhilfemaßnahmen im Falle eines Abbruchs. Aktivplasma für die Routinereinigung von Probenoberflächen RIE-Plasma für die aggressive Reinigung von nicht ESD-empfindlichen Proben Nachgeschaltetes, elektronenfreies Plasma für die Reinigung empfindlicher elektronischer Komponenten Der Glen R3A Plasmareiniger kann in einer einfachen oder doppelten Plasmasequenz betrieben werden Advanced Energy PE-1000 AC Plasma Stromquelle; …Baujahr:
Abmessung 3100 AFM X-Y-Abbildungsbereich ca. 90um im Quadrat Z-Bereich ca. 6um bis zu 150mm Probengröße nanoscope IIIa Steuerung Integrierter Tisch zur akustischen SchwingungsisolierungBaujahr:
ENI ACG10B 1200W Rf 13.56mhz Generator 2 angetriebene Regale Porter Masss Durchflussregler: 1000 SCCM N2 500 SCCM N2Baujahr:
Spin Coater mit GYRSET-System für bessere Gleichmäßigkeit und geringeren Harzverbrauch Schnell austauschbares Gyrset Motorisierter und programmierbarer Dosierarm max. 200-mm-Wafer oder 6 "x6" quadratisches Substrat Rostfreier Unterschrank Maximale Beschleunigung von 5000 U/min/Sek. Motorisierter Dosierarm Mehrfachdispenser für bis zu 2 Photoresist Cybor 512 Netzteil mit 505 Controller (zur Steuerung von 1-2 Pumpen) 1 Cybor 5126C Pumpe Lackdüse mit automatischer Reinigung Kartuschen-Dispenser Mehrere …Baujahr:
208v, 3 Phasen, 50/60hz, 20 Ampere Außergewöhnlicher Zustand: Quarzfass zeigt keine Anzeichen von Ätzung oder Gebrauch Seren 600-Watt-RF-Stromversorgung 13,56mhz Externer wandmontierter Stromverteilungs- und Schaltkasten mit EFOBaujahr:
Vakuumkammer 340 x 400 x 450 mm Tür mit automatischer Entriegelung nach Beendigung des Prozesses Mikrowellenanregung 2.45GHz Magnetron, maximal eingestellte Leistung 1200W 3 Gaskanäle mit Brooks MFC: N2, Ar, O2 Strombedarf 120/208V Pfeiffer DUO65C Vakuumpumpe mit Fomblin-Öl (PFPE) Druckmessgerät: Baratron Absolutmessumformer PLC-Prozesssteuerung mit RS232Baujahr:
Vakuumkammer 340 x 400 x 450 mm Tür mit automatischer Entriegelung nach Beendigung des Prozesses Mikrowellenanregung 2.45GHz Magnetron, maximal eingestellte Leistung 1200W 3 Gaskanäle mit Brooks MFC: N2, Ar, O2 Pfeiffer DUO65C Vakuumpumpe mit Fomblin-Öl (PFPE) Druckmessgerät: Baratron Absolutmessumformer PLC-Prozesssteuerung mit RS232 Strombedarf: 230/400VAC, 3 Phasen, geerdet, 50/60hzBaujahr:
Innenkammer: 12 "b x 13,25 "d x 12 "h (2) PID-Temperaturregler 25-200ºC PLD-Logiksteuerung mit Touchscreen-Display Digitales Granville-Phillips-Vakuum-Messgerät Seitlich montierter HMDS-Behälter mit hohem Fassungsvermögen und auf dem Behälter montiertem Vakuummeter Vakuum- und Druckverriegelungen gewährleisten Prozessintegrität und Stickstoffdruckkontrolle Überhitzungsschutz Heizungsabschaltung Vorgeheizter Stickstoff, um Wafer schnell auf Betriebstemperatur zu bringen Multi-Programm-Fähigkeit Material der Kammer: Elektrochemisch polierter 316L-Edelstahl 120v, 1ph, 50/60hz, 14amp Optional: 7CFM …Baujahr: 2005
Alle Spezifikationen und Informationen können ohne Vorankündigung geändert werden und können nicht für den Kauf und die Einrichtungsplanung verwendet werden. Bitte überprüfen Sie die aktualisierten Informationen auf unserer Website vor dem Kauf. Wir danken Ihnen für Ihre Zeit. Modell: SPTS STS Multiplex ICP HRM Kategorie: Plasma-Ätzer, Halbleiter-Prozessanlagen Original Equipment Hersteller: SPTS ,STS ,Surface Tech Sys Zustand: Vollständig überholt und vom …