Thermo-Chuck-Controller und Thermo-Chuck-System

Das TP03500-System besteht aus einem rauscharmen Controller; eine temperaturgesteuerte Vakuumspannvorrichtung und Kühloptionen Ihrer Wahl. Der ThermoChuck ist in den Durchmessern 200 mm (8 Zoll) oder 300 mm (12 Zoll) erhältlich und eignet sich für eine Vielzahl von Wafergrößen. Alle ThermoChucks verfügen über die Möglichkeit, die äußeren Vakuumringe abzuschalten, um kleinere Wafer besser „festzuhalten“. Die Spannfutteroberfläche ist elektrisch isoliert und für Ihre Anwendung plattiert (Gold, Nickel, eloxiert oder anders).

Für die Gerätecharakterisierung und analytische Messungen an Wafern und Hybriden, bei denen es darum geht, den Sondenkontakt bei Temperaturschwankungen aufrechtzuerhalten, bietet Temptronic das Constant Height ThermoChuck an. Das Constant Height ThermoChuck wurde unter Verwendung der patentierten Temptronic-Technologie entwickelt und sorgt über den gesamten Temperaturbereich für ein Wachstum von nur 50 Mikrometern und eine Ebenheit von 50 Mikrometern.

Merkmale
- Das patentierte ThermoChuck-Design bietet außergewöhnliche thermische und mechanische Stabilität und Präzision
- Hervorragende Temperaturgleichmäßigkeit:
- Oberflächenebenheit
- Parallelität von Oberfläche zu Basis: <20 Mikrometer bei +200 °C
- Oberflächenisolierung: > 109 Ohm Standard; >1014 Ohm verfügbar
- Das geräuscharme DC-Steuerungssystem reduziert elektrische Geräusche auf ein Minimum
- Modulares Systemdesign für bequeme, kostengünstige System-Upgrades je nach Wafer-Durchmesser
und Temperaturanforderungen ändern sich
- CE-geprüft, ETL-gelistet für die USA und Kanada und konform mit den SEMI S2-93A-Standards

Bitte beachten Sie, dass diese Beschreibung automatich übersetzt wurde. Für weitere Informationen stehen wir Ihnen gerne zur Verfügung. Die Angaben in dieser Anzeige sind unverbindlich. Exapro empfiehlt, die Details vor einem Kauf mit dem Verkäufer zu überprüfen.

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Betriebsstunden
Einschaltstunden
Zustand general-product-state-empty
CE-Norm Ja
Status
Art von Kunde Endbenutzer - KMU
1. Registrierung 2023
Online Angeboten 21
Letzte log in 5. Februar 2024

Beschreibung

Thermo-Chuck-Controller und Thermo-Chuck-System

Das TP03500-System besteht aus einem rauscharmen Controller; eine temperaturgesteuerte Vakuumspannvorrichtung und Kühloptionen Ihrer Wahl. Der ThermoChuck ist in den Durchmessern 200 mm (8 Zoll) oder 300 mm (12 Zoll) erhältlich und eignet sich für eine Vielzahl von Wafergrößen. Alle ThermoChucks verfügen über die Möglichkeit, die äußeren Vakuumringe abzuschalten, um kleinere Wafer besser „festzuhalten“. Die Spannfutteroberfläche ist elektrisch isoliert und für Ihre Anwendung plattiert (Gold, Nickel, eloxiert oder anders).

Für die Gerätecharakterisierung und analytische Messungen an Wafern und Hybriden, bei denen es darum geht, den Sondenkontakt bei Temperaturschwankungen aufrechtzuerhalten, bietet Temptronic das Constant Height ThermoChuck an. Das Constant Height ThermoChuck wurde unter Verwendung der patentierten Temptronic-Technologie entwickelt und sorgt über den gesamten Temperaturbereich für ein Wachstum von nur 50 Mikrometern und eine Ebenheit von 50 Mikrometern.

Merkmale
- Das patentierte ThermoChuck-Design bietet außergewöhnliche thermische und mechanische Stabilität und Präzision
- Hervorragende Temperaturgleichmäßigkeit:
- Oberflächenebenheit
- Parallelität von Oberfläche zu Basis: <20 Mikrometer bei +200 °C
- Oberflächenisolierung: > 109 Ohm Standard; >1014 Ohm verfügbar
- Das geräuscharme DC-Steuerungssystem reduziert elektrische Geräusche auf ein Minimum
- Modulares Systemdesign für bequeme, kostengünstige System-Upgrades je nach Wafer-Durchmesser
und Temperaturanforderungen ändern sich
- CE-geprüft, ETL-gelistet für die USA und Kanada und konform mit den SEMI S2-93A-Standards

Bitte beachten Sie, dass diese Beschreibung automatich übersetzt wurde. Für weitere Informationen stehen wir Ihnen gerne zur Verfügung. Die Angaben in dieser Anzeige sind unverbindlich. Exapro empfiehlt, die Details vor einem Kauf mit dem Verkäufer zu überprüfen.


Detaillierte Informationen

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Betriebsstunden
Einschaltstunden
Zustand general-product-state-empty
CE-Norm Ja
Status

Bezüglich der/die Besitzer /in

Art von Kunde Endbenutzer - KMU
1. Registrierung 2023
Online Angeboten 21
Letzte log in 5. Februar 2024

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